Аналіз патрабаванняў да прадукцыйнасці аналізаў тытанавых мэтавых матэрыялаў у розных галінах прамысловасці
1 、 Асноўныя патрабаванні да прадукцыйнасці для тытанавых мэтавых матэрыялаў
① Чысціня: як адзін з асноўных паказчыкаў эфектыўнасці мэтавых матэрыялаў, чысціня аказвае вырашальны ўплыў на прадукцыйнасць тонкіх плёнак. У практычных дадатках патрабаванні да чысціні мэтавых матэрыялаў вар'іруюцца ў прамысловасці. Напрыклад, у мікраэлектроннай галіне, з пастаянным павелічэннем памеру пласціны крэмнію і пастаянным памяншэннем шырыні праводкі, патрабаванні да мэты чысціні таксама пастаянна павялічваюцца. Раней мэтавая чысціня ў 99,995% можа адпавядаць патрабаванням працэсу 0,35um IC, але цяпер падрыхтоўка 0,18um ліній патрабуе мэтавай чысціні 99,999% ці нават 99,9999%.
② Змест прымешак: Прымешкі ў цвёрдым рэчывам мэтавага матэрыялу і кіслароду і вадзяной пары ў пары з'яўляюцца асноўнымі крыніцамі забруджвання для нанясення тонкіх плёнак. Такім чынам, патрабаванні да зместу прымешак мэтавых матэрыялаў для розных мэтаў таксама розныя. Напрыклад, чыстыя алюмініевыя і алюмініевыя сплавы, якія выкарыстоўваюцца ў паўправадніковай галіне, маюць асаблівыя патрабаванні да ўтрымання шчолачы металу і ўтрымання радыеактыўнага элемента.
③ Шчыльнасць: Для таго, каб паменшыць пары ў цвёрдым мэтавым матэрыяле і павысіць прадукцыйнасць распыленых плёнак, звычайна патрабуецца, каб мэтавы матэрыял меў высокую шчыльнасць. Шчыльнасць мэтавага матэрыялу не толькі ўплывае на хуткасць распылення, але і ўплывае на электрычныя і аптычныя ўласцівасці тонкай плёнкі. Акрамя таго, павелічэнне шчыльнасці і трываласці мэтавага матэрыялу можа лепш супрацьстаяць цеплавому напружанню падчас працэсу распылення. Такім чынам, шчыльнасць таксама з'яўляецца адным з ключавых паказчыкаў эфектыўнасці мэтавага матэрыялу.
④ Памер збожжа і размеркаванне памераў збожжа: Мэтавыя матэрыялы звычайна з'яўляюцца полікрышталічнымі структурамі, з памерамі збожжа ў дыяпазоне ад мікраметраў да міліметраў. Для таго ж мэтавага матэрыялу хуткасць распылення мішэняў з дробнымі зернямі звычайна хутчэй, чым у мішэні з грубымі зернямі; Размеркаванне таўшчыні тонкіх плёнак, нанесеных мэтамі, распыляючыся з невялікімі адрозненнямі памеру збожжа (раўнамернае размеркаванне), з'яўляецца больш раўнамерным.
2 、 Патрабаванні да чысціні для тытанавых мэтавых матэрыялаў у розных галінах прамысловасці
① Матэрыялы мэтавых тытана, якія выкарыстоўваюцца ў комплексных схемах: Убудаваныя схемы патрабуюць надзвычай высокай чысціні тытанавых мэтавых матэрыялаў, звычайна больш за 99,995%, каб забяспечыць прадукцыйнасць і стабільнасць тонкіх плёнак.
② Матэрыялы мэтавых тытана, якія выкарыстоўваюцца на плоскіх дысплеях: плоскія панэлі ўключаюць вадкія крышталічныя дысплеі, плазменныя дысплеі, электралюмінесцэнтныя дысплеі і дысплеі выкідаў на месцах. Гэтыя дысплеі часта выкарыстоўваюць тэхналогію распылення пакрыцця для дэпазіту тонкіх плёнак падчас вытворчага працэсу. Сярод іх тытанавы мэтавы матэрыял з'яўляецца адной з важных мішэняў распылення, і яго чысціня звычайна павінна быць больш за 99,9%.
Акрамя таго, тытанавыя мэтавыя матэрыялы могуць шырока выкарыстоўваць у высокатэхналагічных палях, такіх як электроніка, інфармацыйная прамысловасць, упрыгожванне дома і вытворчасць аўтамабільнага шкла. У гэтых галінах тытанавыя мэтавыя матэрыялы ў асноўным выкарыстоўваюцца для пакрыцця панэляў панэлі панэлі ўбудаваных схем, плоскіх панэляў і іншых кампанентаў, альбо ў якасці ўпрыгожванняў і шкляных пакрыццяў. Аптымізаваўшы прадукцыйнасць і чысціню тытанавых мэтавых матэрыялаў, могуць быць выкананы патрабаванні розных галін прадукцыйнасці і стабільнасці.
Сканіраванне для наведвання
мабільны сайт індэкс.
карта сайта 
Запыт Кошык (